(deep sub-micron) Unscharfe Bezeichnung für die Grö?enordnung der Strukturabmessungen von integrierten Halbleitern, die weitaus geringer als ein Mikrometer (üm) sind.
(deep sub-micron) Unscharfe Bezeichnung für die Grö?enordnung der Strukturabmessungen von integrierten Halbleitern, die weitaus geringer als ein Mikrometer (m) sind.